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| 产地 | 安徽 |
| 货号 | 20260902 |
| 品牌 | 惠智润科 |
| 用途 | 用于芯片和晶圆加工的光刻和清洗光刻胶。 |
| 包装规格 | 220kg/桶 |
| CAS编号 | 7803-49-8 |
| 纯度 | 50% |
| 别名 | 羟胺游离水溶液 |
| 包装 | 塑料桶 |
| 级别 | 其他 |
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电子级羟胺属于高端湿电子化学品,是专为微电子制造湿法清洗工序精制的高纯羟胺水溶液,区别于工业级羟胺盐产品,核心特征为极低金属离子含量、低微粒、可控阴离子杂质,保留羟胺固有的还原性,同时很大限度减少外来污染物,广泛应用于集成电路、第三代半导体、平板显示、MEMS 器件晶圆基板清洗,其分子式为NH2OH,电子级商品形态一般为游离羟胺水溶液,极少采用固体羟胺盐形式供货。
从基础理化性质来看,纯羟胺是无色晶体,熔点约 33℃,极易吸潮;市场流通的电子级羟胺多配置为不同质量分数的无色透明水溶液,极性强,可与水任意比例互溶。溶液带有微弱刺激性气味,具备还原性,在常温环境下可缓慢分解,受热、混入过渡金属离子时分解反应急剧加速,分解产物主要为氮气、一氧化二氮与水,同时释放热量并产生气体。pH 值随浓度变化,可根据下游清洗配方需求进行调配,能够和高纯螯合剂、非离子表面活性剂复配,复配体系不易产生沉淀,适配各类晶圆清洗工艺。
在质量指标层面,电子级羟胺执行湿电子化学品专用超高纯度标准,这也是其和工业级产品核心的差异。工业级羟胺杂质通常在 ppm 级别,而电子级产品将铁、铜、镍、铬、钠、钾等碱金属与过渡金属离子控制至 ppb 量级;氯离子、硫酸根、硝酸根等阴离子杂质也经过深度脱除,避免后续高温工艺中离子迁移造成器件缺陷。同时产品经过多级超滤处理,严格管控亚微米级固体颗粒数量,灌装在百级 / 千级超净车间内完成,杜绝微粒污染晶圆。每批次产品附带完整质检报告,包含有效含量、金属离子、阴离子、颗粒项目检测数据,满足半导体工厂来料检验与质量追溯要求。
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